mems是什么意思
mems即微機電系統（英語：MicroelectromechanicalSystems，縮寫為MEMS）是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術，它的操作范圍在微米范圍內 。比它更小的，在納米范圍的類似的技術被稱為納機電系統 。
微機電系統（MEMS,Micro-Electro-MechanicSystem）是一種先進的制造技術平臺 。它是以半導體制造技術為基礎發展起來的 。MEMS技術采用了半導體技術中的光刻、腐蝕、薄膜等一系列的現有技術和材料，因此從制造技術本身來講，MEMS中基本的制造技術是成熟的 。但MEMS更側重于超精密機械加工，并要涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域 。它的學科面也擴大到微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理學的各分支 。
【mems是什么意思】
推薦閱讀
- 試點版是什么意思
- 考駕照學生班是什么意思
- 榮耀平板8側面長條是什么
- 手機性能模式什么意思
- 下午左眼跳是什么預兆
- 騰訊投屏本地代理模式是什么
- 兩微一端中的兩微是什么
- 美文鑒賞與創作是什么意思
- 不著相是什么意思
- 中獅聯是什么組織